在材料微觀特性探究、元件質(zhì)量把控的科研及工業(yè)場景里,表面輪廓測量的精度與效率,直接影響著研究進展與產(chǎn)品品質(zhì)。Zygo 白光干涉光學(xué)輪廓儀,以其精巧設(shè)計與實用功能,成為眾多專業(yè)人士信賴的得力工具。探秘 Zygo 白光干涉光學(xué)輪廓儀
產(chǎn)品細(xì)節(jié):人性化設(shè)計,操作輕松上手
Zygo 白光干涉光學(xué)輪廓儀的外觀設(shè)計簡約大氣,線條流暢自然。儀器整體結(jié)構(gòu)緊湊,占地面積小,無論是實驗室的擁擠臺面,還是工業(yè)生產(chǎn)車間的復(fù)雜環(huán)境,都能輕松安置。其操作界面友好,控制按鈕布局合理,標(biāo)識清晰易懂,即便初次接觸的使用者,也能迅速熟悉操作流程,順利開展測量工作。設(shè)備的樣品臺設(shè)計精妙,不僅能穩(wěn)固承載不同形狀、尺寸與質(zhì)地的樣品,從微小的電子芯片,到較大尺寸的光學(xué)鏡片,都能穩(wěn)穩(wěn)固定,還支持靈活的角度與位置調(diào)整,確保樣品處于優(yōu)良測量狀態(tài),方便獲取精準(zhǔn)數(shù)據(jù)。
產(chǎn)品性能:多元技術(shù)融合,穩(wěn)定可靠
這款輪廓儀融合了優(yōu)良的白光干涉技術(shù)與精密的光學(xué)系統(tǒng)。白光干涉技術(shù)利用不同波長光干涉產(chǎn)生的條紋,能有效識別樣品表面的微觀起伏。搭配高分辨率的光學(xué)成像系統(tǒng),可清晰捕捉表面細(xì)節(jié),對光滑表面和粗糙表面都能精準(zhǔn)測量。在測量過程中,設(shè)備運行穩(wěn)定,受外界環(huán)境干擾小,保證測量結(jié)果的穩(wěn)定性與一致性。而且,它能在較大的測量范圍內(nèi),靈活調(diào)整測量參數(shù),適應(yīng)不同精度要求的測量任務(wù),既可以對大面積區(qū)域進行快速掃描,獲取整體輪廓信息,也能針對微小局部進行精細(xì)測量,解析微觀特征。
用材講究:品質(zhì)選材,耐用抗造
Zygo 在選材上十分用心。核心的光學(xué)部件采用高品質(zhì)光學(xué)玻璃,這類玻璃具有出色的透光性和低色散特性,減少光線傳播中的能量損失與圖像畸變,確保測量成像清晰、準(zhǔn)確。儀器內(nèi)部的機械結(jié)構(gòu)選用高強度、耐磨的金屬材料,像傳動部件采用優(yōu)質(zhì)合金鋼,保證長期高頻使用下,依然維持精準(zhǔn)的運動精度與良好的機械性能,延長設(shè)備使用壽命,降低維護成本。同時,設(shè)備外殼使用堅固且抗腐蝕的材料,有效保護內(nèi)部精密部件,適應(yīng)多樣的使用環(huán)境。
型號多樣,參數(shù)豐富
Zygo 提供多種型號的白光干涉光學(xué)輪廓儀,適配不同應(yīng)用場景。以某一常見型號為例,其垂直分辨率可達亞納米級別,能精準(zhǔn)檢測極其微小的表面高度變化。測量范圍方面,橫向可覆蓋較大尺寸的樣品區(qū)域,滿足對大面積樣品的整體輪廓測量需求;縱向則能深入解析微小的起伏細(xì)節(jié)。部分型號還具備快速掃描功能,在保證測量精度的同時,大幅提升測量效率,適用于對時間要求較高的生產(chǎn)檢測環(huán)節(jié)。而且,不同型號在樣品承載能力、數(shù)據(jù)處理能力等方面各有側(cè)重,用戶可根據(jù)自身需求靈活選擇。
廣泛用途:多領(lǐng)域大顯身手
在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域,Zygo 白光干涉光學(xué)輪廓儀發(fā)揮著關(guān)鍵作用。它能精確測量晶圓表面的平整度、刻蝕圖案的深度與寬度等參數(shù),助力芯片制造過程中的質(zhì)量控制,確保芯片性能穩(wěn)定。在光學(xué)元件生產(chǎn)中,對于透鏡、反射鏡等元件的表面面形誤差、粗糙度檢測,該輪廓儀可提供高精度數(shù)據(jù),幫助提升光學(xué)元件的成像質(zhì)量。在材料科學(xué)研究里,能夠分析材料表面的微觀結(jié)構(gòu)、涂層厚度均勻性等,為新材料研發(fā)與性能優(yōu)化提供重要依據(jù)。此外,在微機電系統(tǒng)(MEMS)制造、生物醫(yī)學(xué)工程等領(lǐng)域,也能用于微結(jié)構(gòu)測量、生物樣品表面形態(tài)觀察等工作。
使用說明:規(guī)范操作,保障效果
使用 Zygo 白光干涉光學(xué)輪廓儀前,需仔細(xì)檢查設(shè)備外觀有無損壞,各部件連接是否牢固。將儀器放置在平穩(wěn)、無振動的工作臺上,并確保工作環(huán)境溫度、濕度適宜,避免環(huán)境因素影響測量精度。連接好電源及相關(guān)配件后,按照說明書進行設(shè)備初始化設(shè)置,校準(zhǔn)光學(xué)系統(tǒng)。安裝樣品時,動作要輕柔,依據(jù)樣品特性選擇合適的固定方式,確保樣品穩(wěn)固且處于正確測量位置。設(shè)置測量參數(shù)時,需根據(jù)樣品類型、測量目的謹(jǐn)慎選擇測量范圍、分辨率、掃描模式等參數(shù)。測量過程中,密切關(guān)注設(shè)備運行狀態(tài),若發(fā)現(xiàn)圖像異常、測量數(shù)據(jù)波動過大等情況,應(yīng)立即停止測量,排查故障原因,如檢查光路是否有遮擋、樣品是否發(fā)生位移等。測量完成后,及時關(guān)閉設(shè)備電源,清理樣品臺,定期對儀器進行全面清潔與維護,包括對光學(xué)部件進行清潔、對機械傳動部件進行潤滑等,確保設(shè)備始終處于良好工作狀態(tài),持續(xù)提供精準(zhǔn)測量結(jié)果。
Zygo 白光干涉光學(xué)輪廓儀憑借精心設(shè)計、可靠性能、豐富功能及廣泛適用性,為科研工作者與工業(yè)生產(chǎn)者提供了實用的表面輪廓測量方案,助力各行業(yè)在微觀測量領(lǐng)域不斷突破,推動技術(shù)創(chuàng)新與產(chǎn)品質(zhì)量提升 。探秘 Zygo 白光干涉光學(xué)輪廓儀