澤攸集成化的臺階測量方案

產(chǎn)品簡介

澤攸集成化的臺階測量方案
澤攸臺階儀憑借靈活的配置，可適應(yīng)多樣化的測量需求。其采用模塊化設(shè)計，傳感器與工作臺均可根據(jù)樣品特性更換，提升設(shè)備的適用范圍。

產(chǎn)品型號：

更新時間：2025-08-25

廠商性質(zhì)：代理商

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產(chǎn)品分類

PRODUCT CLASSIFICATION

臺式電鏡&臺階儀&原位分析

澤攸澤攸臺式掃描電鏡澤攸臺階儀澤攸探針臺及低溫系統(tǒng) 澤攸TEM原位方案(樣品桿) 澤攸SEM原位解決方案

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澤攸 ST800 臺階儀集成了接觸式與非接觸式測量功能，通過智能化控制系統(tǒng)，為復(fù)雜樣品的測量提供全面解決方案。澤攸集成化的臺階測量方案

接觸式測量范圍 0 - 800μm，垂直分辨率 0.05nm；非接觸式光學(xué)傳感器采用白光干涉原理，測量范圍 0 - 100μm，垂直分辨率 0.1nm，兩種模式可無縫切換，兼顧深臺階與精細表面的測量需求。

設(shè)備工作臺采用氣浮設(shè)計，運動平穩(wěn)無摩擦，X/Y 行程 200mm，定位精度 5μm，支持自動樣品定位與多點測量。軟件具備圖像拼接功能，可將多個測量區(qū)域的形貌圖拼接成完整的樣品表面形貌，便于整體分析。

用材上，關(guān)鍵部件如導(dǎo)軌、絲杠等選用進口高精度產(chǎn)品，確保設(shè)備的長期穩(wěn)定性。使用說明中詳細介紹了自動測量流程：通過相機定位樣品特征，軟件規(guī)劃測量路徑，自動完成多個點的測量并生成綜合報告。適用于精密儀器制造中的表面質(zhì)量檢測、高?？蒲兄械牟牧媳碚鞯葓鼍埃瑸橛脩籼峁└咝?、全面的測量支持。澤攸集成化的臺階測量方案

使用時，將樣品固定在工作臺上，調(diào)整觸針位置使其輕觸樣品表面，設(shè)置掃描速度（0.1 - 1mm/s）和掃描長度后啟動測量。適用于薄膜厚度檢測、涂層臺階分析等場景，如半導(dǎo)體晶圓的鍍膜厚度測量，為生產(chǎn)質(zhì)量控制提供數(shù)據(jù)支持。

上一個：澤攸深度測量的可靠選擇