ZeGage Pro 3D光學(xué)輪廓儀

ZeGage Pro 是 ZYGO 公司推出的一款三維光學(xué)輪廓儀，專為高精度表面測(cè)量設(shè)計(jì)。該設(shè)備采用非接觸式光學(xué)測(cè)量技術(shù)，無(wú)需樣品制備，適用于多種表面類型，包括光滑、粗糙、平面、斜坡面等。其核心優(yōu)勢(shì)在于其高精度和穩(wěn)定性，能夠提供納米級(jí)的表面形貌測(cè)量。

ZeGage Pro 采用計(jì)算機(jī)控制的4位物鏡轉(zhuǎn)臺(tái)，支持區(qū)域測(cè)量，對(duì)待測(cè)件放置不敏感，測(cè)量結(jié)果穩(wěn)定可靠。其納米級(jí)的表面定量計(jì)量精度符合ISO 25178標(biāo)準(zhǔn)，適用于多種工業(yè)應(yīng)用，如半導(dǎo)體、光學(xué)元件、精密機(jī)械加工等領(lǐng)域。設(shè)備操作簡(jiǎn)便，無(wú)需額外耗材，適合長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行。

ZeGage Pro 的高分辨率圖形傳感器可在短時(shí)間內(nèi)完成快速面測(cè)量，提供表面細(xì)節(jié)成像，適用于多種工業(yè)場(chǎng)景。其抗震設(shè)計(jì)和非接觸式測(cè)量技術(shù)，使其在振動(dòng)環(huán)境中仍能保持高精度。該設(shè)備適合需要高精度、高穩(wěn)定性的工業(yè)測(cè)量需求。

ZeGage Pro 的測(cè)量范圍廣泛，支持多種放大倍率和樣品尺寸，適用于不同尺寸的樣品測(cè)量。其自動(dòng)化對(duì)焦和設(shè)置功能提升了測(cè)量效率，適合高精度、高穩(wěn)定性的工業(yè)應(yīng)用。設(shè)備支持多種附加模塊，如透明薄膜測(cè)量和二維視覺(jué)分析，適用于多種特定需求。

ZeGage Pro 的高精度、高穩(wěn)定性使其成為工業(yè)測(cè)量中的理想選擇，適用于半導(dǎo)體、光學(xué)、精密制造等領(lǐng)域。其非接觸式測(cè)量技術(shù)避免了傳統(tǒng)接觸式測(cè)量的磨損和誤差，適合長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行。該設(shè)備在工業(yè)測(cè)量中具有廣泛的應(yīng)用前景，為高精度、高穩(wěn)定性的測(cè)量需求提供了可靠的技術(shù)支持。

ZeGage Pro 3D光學(xué)輪廓儀