布魯克ContourX-200三維光學(xué)輪廓儀在ContourX系列中扮演著一個(gè)平衡者的角色，它力求在測(cè)量范圍、系統(tǒng)性能和占地面積之間找到一個(gè)合適的點(diǎn)，以滿足大多數(shù)實(shí)驗(yàn)室的日常需求。

ContourX-200提供了200 x 200毫米的XY平面行程和200毫米的Z向行程，這個(gè)尺寸范圍覆蓋了絕大多數(shù)常見樣品，從半導(dǎo)體晶圓、MEMS器件到各種材料試片和小型精密零件，都能輕松容納。其樣品高度容量也達(dá)到了200毫米，為測(cè)量帶有一定厚度的工件提供了便利。

該型號(hào)在結(jié)構(gòu)上用材與高階型號(hào)保持一致，采用了高剛性的材料和精密的運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)，確保了測(cè)量過程的重復(fù)性和準(zhǔn)確性。其光學(xué)系統(tǒng)支持多種倍率的物鏡，用戶可以根據(jù)分辨率要求和視場(chǎng)大小的需要靈活切換。自動(dòng)鏡頭塔臺(tái)使得切換過程快速且位置重復(fù)性好，減少了人為操作誤差。

在性能參數(shù)上，ContourX-200能夠?qū)崿F(xiàn)納米級(jí)的垂直分辨率，準(zhǔn)確捕捉表面的細(xì)微起伏。其分析軟件功能豐富，不僅可以提供Sa, Sq, Sz等常規(guī)粗糙度參數(shù)，還能進(jìn)行截面分析、體積計(jì)算、紋理方向分析以及磨損量量化等多種功能，滿足材料科學(xué)、摩擦學(xué)、精密加工等領(lǐng)域的研究需求。

用途舉例：

• 半導(dǎo)體行業(yè)： 測(cè)量硅片表面的平坦度、薄膜臺(tái)階高度。

• 材料研究： 分析涂層或鍍層的表面質(zhì)量、磨損前后的表面形貌變化。

• 精密制造： 檢測(cè)加工件（如刀具、模具）的表面光潔度是否符合規(guī)格。

ContourX-200的操作界面設(shè)計(jì)力求直觀，新用戶經(jīng)過短期培訓(xùn)即可上手進(jìn)行基本測(cè)量。對(duì)于有經(jīng)驗(yàn)的用戶，其高級(jí)腳本功能和批量處理能力則能解放人力，實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化批量檢測(cè)。對(duì)于尋求一款能夠應(yīng)對(duì)多樣化測(cè)量任務(wù)、且不占過多實(shí)驗(yàn)室空間的用戶來(lái)說，ContourX-200是一個(gè)值得考慮的選擇。