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三維光學(xué)輪廓儀
布魯克三維光學(xué)輪廓儀
布魯克ContourX輪廓儀系列的多行業(yè)應(yīng)用
布魯克ContourX輪廓儀系列的多行業(yè)應(yīng)用布魯克ContourX系列三維光學(xué)輪廓儀的非接觸、高分辨率特點(diǎn),使其在眾多需要表面質(zhì)量控制的領(lǐng)域都有用武之地。以下是一些典型的應(yīng)用行業(yè)和場(chǎng)景。
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布魯克ContourX系列三維光學(xué)輪廓儀的非接觸、高分辨率特點(diǎn),使其在眾多需要表面質(zhì)量控制的領(lǐng)域都有用武之地。以下是一些典型的應(yīng)用行業(yè)和場(chǎng)景。
1. 半導(dǎo)體與電子行業(yè):
應(yīng)用: 測(cè)量硅晶圓表面的平坦度、薄膜厚度(臺(tái)階高度)、CMP(化學(xué)機(jī)械拋光)后的表面質(zhì)量、微凸點(diǎn)的高度和共面性、引線鍵合點(diǎn)的形貌。
適用型號(hào): ContourX-200和ContourX-100因其合適的臺(tái)面尺寸和分辨率,在該領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。
2. 精密光學(xué)與光電行業(yè):
應(yīng)用: 檢測(cè)透鏡、棱鏡等光學(xué)元件的表面面型誤差、粗糙度;測(cè)量激光器晶體的表面質(zhì)量;分析AR/VR設(shè)備中微光學(xué)結(jié)構(gòu)的加工精度。
適用型號(hào): 三款型號(hào)均可,選擇取決于光學(xué)元件的大小。ContourX-500可應(yīng)對(duì)較大的光學(xué)鏡坯。
3. 材料科學(xué)與工程:
應(yīng)用: 量化分析材料表面的粗糙度(Sa, Sz等);研究涂層或鍍層的均勻性和缺陷;評(píng)估材料在摩擦磨損試驗(yàn)前后的體積損失;觀察復(fù)合材料表面的微觀結(jié)構(gòu)。
適用型號(hào): 這是ContourX系列的應(yīng)用領(lǐng)域,三款型號(hào)根據(jù)樣品尺寸選擇均可勝任。
4. 汽車與航空航天工業(yè):
應(yīng)用: 檢測(cè)發(fā)動(dòng)機(jī)關(guān)鍵摩擦副部件(如缸套、曲軸)的表面珩磨紋理和粗糙度;分析渦輪葉片表面的熱障涂層形貌;測(cè)量精密液壓元件的表面加工質(zhì)量。
適用型號(hào): ContourX-500因其大容量,更適合測(cè)量此類較大的工業(yè)部件。
5. 學(xué)術(shù)與研究機(jī)構(gòu):
應(yīng)用: 作為多功能表面分析儀器,支持物理、化學(xué)、生物、醫(yī)學(xué)等多個(gè)學(xué)科的基礎(chǔ)研究,如研究微流控芯片的通道結(jié)構(gòu)、生物材料的表面拓?fù)洹⒎律砻娴奈⒂^特征等。
適用型號(hào): ContourX-200因其良好的平衡性,常成為高校和研究所的。
使用說明: 在不同行業(yè)應(yīng)用時(shí),需要注意樣品的特性。對(duì)于反射率過低的樣品,可能需要噴涂薄層金屬以增強(qiáng)信號(hào);對(duì)于透明薄膜樣品,則需要使用特殊算法來處理下層界面的干擾。布魯克的軟件通常提供了相應(yīng)的處理模式來應(yīng)對(duì)這些挑戰(zhàn)。
通過以上案例可以看出,布魯克ContourX系列通過不同的型號(hào)配置,能夠靈活適應(yīng)從基礎(chǔ)科學(xué)研究到工業(yè)制造的多種表面計(jì)量需求。
布魯克ContourX輪廓儀系列的多行業(yè)應(yīng)用
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