Zygo 光學(xué)輪廓儀：設(shè)計(jì)里的測(cè)量智慧
在微觀測(cè)量設(shè)備領(lǐng)域，合理的設(shè)計(jì)往往是性能發(fā)揮的基礎(chǔ)。Zygo 3D 光學(xué)輪廓儀 NewView™ 9000 以精心的設(shè)計(jì)，將測(cè)量精度與使用便捷性巧妙融合，成為眾多領(lǐng)域的可靠選擇。
從外觀設(shè)計(jì)來(lái)看，NewView™ 9000 采用一體化柜式結(jié)構(gòu)，機(jī)身尺寸約為 850mm×700mm×1200mm，整體線條簡(jiǎn)潔流暢。這種設(shè)計(jì)不僅能有效隔絕外界振動(dòng)對(duì)測(cè)量的影響，還為內(nèi)部光學(xué)系統(tǒng)提供了穩(wěn)定的運(yùn)行環(huán)境。機(jī)身外殼選用優(yōu)質(zhì)冷軋鋼板，表面經(jīng)過(guò)靜電噴涂處理，呈現(xiàn)出細(xì)膩的啞光質(zhì)感，既具備良好的抗刮擦性能，又能減少環(huán)境光線的反射干擾，讓設(shè)備在長(zhǎng)期使用中保持整潔外觀。
設(shè)備的操作區(qū)域布局清晰合理，控制面板位于機(jī)身正面中部，包含顯示屏、操作按鈕和軌跡球，操作人員無(wú)需彎腰即可輕松操作。樣品裝卸區(qū)域設(shè)置在機(jī)身前部，采用抽屜式樣品臺(tái)設(shè)計(jì)，最大樣品尺寸可達(dá) 300mm×300mm，滿足多數(shù)工業(yè)樣品的測(cè)量需求。樣品臺(tái)兩側(cè)配備可調(diào)節(jié)夾具，能適應(yīng)不同形狀和尺寸的樣品，夾具表面覆蓋橡膠墊層，避免夾傷樣品表面。
內(nèi)部光學(xué)系統(tǒng)的設(shè)計(jì)同樣注重細(xì)節(jié)。光路通道采用密封式結(jié)構(gòu)，有效防止灰塵進(jìn)入影響成像質(zhì)量，同時(shí)配備恒溫控制系統(tǒng)，將內(nèi)部溫度波動(dòng)控制在 ±0.1℃以內(nèi)，減少溫度變化對(duì)光學(xué)元件的影響。光學(xué)鏡頭與樣品臺(tái)之間的相對(duì)位置經(jīng)過(guò)精密校準(zhǔn)，確保測(cè)量過(guò)程中光路始終保持穩(wěn)定，為數(shù)據(jù)準(zhǔn)確性提供保障。
在性能方面，NewView™ 9000 搭載了 Zygo 的 Mirau 干涉物鏡，結(jié)合白光干涉技術(shù)，能實(shí)現(xiàn)納米級(jí)別的縱向分辨率。其橫向分辨率根據(jù)鏡頭型號(hào)不同有所差異，搭配 5 倍物鏡時(shí)可達(dá) 1.2μm，搭配 100 倍物鏡時(shí)則能達(dá)到 0.1μm，可滿足不同精度要求的測(cè)量任務(wù)。設(shè)備的測(cè)量范圍也十分靈活，Z 軸最大測(cè)量范圍為 10mm，X、Y 軸視場(chǎng)范圍隨物鏡倍率變化，從 5 倍物鏡的 10.2mm×7.7mm 到 100 倍物鏡的 0.51mm×0.38mm 不等。
用材上，核心光學(xué)元件均選用高純度光學(xué)玻璃，經(jīng)過(guò)精密研磨和鍍膜處理，確保光線透過(guò)率和成像質(zhì)量。干涉物鏡的鏡筒采用鈦合金材質(zhì)，這種材料具有較低的熱膨脹系數(shù)，能在溫度變化時(shí)保持結(jié)構(gòu)穩(wěn)定，減少因形變導(dǎo)致的測(cè)量誤差。樣品臺(tái)的導(dǎo)軌采用高精度滾珠絲杠，配合伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)，移動(dòng)平穩(wěn)且定位精度高，重復(fù)定位誤差可控制在 1μm 以內(nèi)。
操作方面，NewView™ 9000 配備了 ZygoMCM™操作軟件，界面直觀易懂。軟件支持自動(dòng)對(duì)焦和自動(dòng)測(cè)量功能，操作人員只需將樣品放置好，點(diǎn)擊 “測(cè)量" 按鈕，設(shè)備就能自動(dòng)完成數(shù)據(jù)采集和分析。軟件內(nèi)置多種測(cè)量模式，包括表面粗糙度分析、臺(tái)階高度測(cè)量、三維形貌重建等，滿足不同的測(cè)量需求。
無(wú)論是在電子制造、光學(xué)加工還是材料研究領(lǐng)域，NewView™ 9000 都能憑借其出色的設(shè)計(jì)和性能，為用戶提供穩(wěn)定可靠的測(cè)量數(shù)據(jù)，成為微觀測(cè)量工作中的得力助手。
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