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三維光學(xué)輪廓儀
Sensofar
S wideSensofar 3D輪廓儀:解鎖大面積測量新維度
Sensofar 3D輪廓儀:解鎖大面積測量新維度在工業(yè)檢測與科研分析領(lǐng)域,大面積樣品的表面形貌測量長期面臨效率與精度的矛盾。西班牙Sensofar推出的S wide大視野3D光學(xué)輪廓儀,憑借其獨特的設(shè)計理念與技術(shù)突破,為這一難題提供了創(chuàng)新解決方案。
在工業(yè)檢測與科研分析領(lǐng)域,大面積樣品的表面形貌測量長期面臨效率與精度的矛盾。西班牙Sensofar推出的S wide大視野3D光學(xué)輪廓儀,憑借其獨特的設(shè)計理念與技術(shù)突破,為這一難題提供了創(chuàng)新解決方案。
S wide采用大視場鏡頭設(shè)計,標(biāo)配5x物鏡時視場直徑達(dá)10mm,單次測量可覆蓋傳統(tǒng)設(shè)備的8倍以上區(qū)域。其核心光學(xué)系統(tǒng)包含共聚焦顯微鏡與白光干涉雙模切換功能:共聚焦模式下橫向分辨率0.3μm,縱向分辨率5nm,適合粗糙表面或高斜率樣品的測量;白光干涉模式則將縱向分辨率提升至0.1nm,可精準(zhǔn)捕捉納米級臺階高度與表面平整度。
設(shè)備搭載500萬像素CMOS傳感器,配合數(shù)字變焦功能,既能實現(xiàn)10mm×10mm區(qū)域的整體掃描,也可對局部細(xì)節(jié)進(jìn)行放大觀察。針對透明樣品(如玻璃、聚合物薄膜),透過式共聚焦模式可穿透表層觀察內(nèi)部結(jié)構(gòu);反射式模式則通過優(yōu)化光源角度,清晰呈現(xiàn)金屬、陶瓷等不透明材料的表面紋理。
S wide的機械結(jié)構(gòu)專為工業(yè)環(huán)境設(shè)計:機身采用1.5mm厚不銹鋼板,表面防腐蝕處理,防護(hù)等級達(dá)IP54,可適應(yīng)車間粉塵、油污及輕微濺水環(huán)境。樣品臺配備雙導(dǎo)軌驅(qū)動結(jié)構(gòu),X軸行程1000mm,Y軸800mm,Z軸100mm,承重能力達(dá)50kg,可穩(wěn)定承載汽車玻璃、航空航天鋁合金構(gòu)件等大型樣品。
其“快速拼接算法"支持多區(qū)域測量數(shù)據(jù)的自動拼接,拼接精度0.1μm,拼接速度較傳統(tǒng)算法提升50%。以1m×0.8m汽車玻璃測量為例,傳統(tǒng)設(shè)備需分20次掃描并手動拼接,耗時2小時以上;S wide僅需30分鐘即可完成全區(qū)域測量與拼接,生成無縫3D輪廓圖像。
設(shè)備關(guān)鍵部件均選用工業(yè)級材料:光學(xué)鏡頭采用高透光率肖特玻璃,經(jīng)多層增透鍍膜處理,大視場范圍內(nèi)透光均勻性達(dá)95%;鏡頭艙采用雙層防塵結(jié)構(gòu),內(nèi)層密封光學(xué)艙與外層防護(hù)蓋設(shè)計,避免灰塵進(jìn)入影響成像質(zhì)量。樣品臺導(dǎo)軌采用精密滾珠絲杠結(jié)構(gòu),絲杠材質(zhì)為高強度合金鋼,表面氮化處理(硬度HRC65),耐磨性提升3倍,使用壽命達(dá)3萬小時以上。
參數(shù)類別 | 具體參數(shù) |
---|---|
測量技術(shù) | 共聚焦顯微鏡 + 白光干涉雙模切換 |
橫向分辨率 | 共聚焦模式:0.3μm(5x物鏡);0.12μm(20x物鏡) |
縱向分辨率 | 共聚焦模式:5nm;干涉模式:0.1nm |
測量范圍 | X軸1000mm,Y軸800mm,Z軸100mm |
物鏡配置 | 5x(標(biāo)配)、20x、50x(可選) |
光源類型 | 50W高功率LED白光光源(450nm-650nm) |
圖像傳感器 | 500萬像素CMOS(2592×1944) |
拼接精度 | 0.1μm(300mm×300mm范圍) |
數(shù)據(jù)輸出格式 | ASCII、CSV、STL、CAD兼容格式 |
S wide提供標(biāo)準(zhǔn)版與工業(yè)版兩種型號:標(biāo)準(zhǔn)版適用于科研機構(gòu),配備12英寸主屏與10英寸副屏,支持圖像標(biāo)注與局部放大;工業(yè)版則針對生產(chǎn)線設(shè)計,集成工業(yè)級操作手柄與千兆以太網(wǎng)接口,可與MES系統(tǒng)對接實現(xiàn)數(shù)據(jù)實時上傳。
在汽車制造領(lǐng)域,S wide用于檢測車身涂層的針孔、劃痕等微觀缺陷,以及焊接接頭的高度差測量;在半導(dǎo)體行業(yè),其大視場特性可快速分析晶圓表面的平整度與纖維分布均勻性。操作流程分為四步:
樣品固定:使用可調(diào)節(jié)夾具固定不規(guī)則形狀樣品,耐磨防滑墊防止滑動;
參數(shù)設(shè)置:根據(jù)樣品特性選擇共聚焦或白光干涉模式,設(shè)置掃描范圍與分辨率;
自動掃描:啟動拼接掃描程序,設(shè)備自動完成多區(qū)域測量與數(shù)據(jù)拼接;
數(shù)據(jù)分析:通過配套軟件提取粗糙度參數(shù)(Sa、Sq)、關(guān)鍵尺寸(GD&T)及CAD對比數(shù)據(jù)。
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