從高校實(shí)驗(yàn)室到汽車生產(chǎn)線，從半導(dǎo)體晶圓到航空航天構(gòu)件，表面形貌分析的需求正從微觀尺度向宏觀領(lǐng)域延伸。Sensofar S wide大視野3D光學(xué)輪廓儀憑借其“大視野+高精度"的雙重特性，成為跨領(lǐng)域表面測(cè)量的理想工具。

產(chǎn)品細(xì)節(jié)：模塊化設(shè)計(jì)滿足多元需求

S wide的機(jī)身采用落地式穩(wěn)定結(jié)構(gòu)，尺寸為1200mm×800mm×900mm，底部配備重型承重底座，可穩(wěn)定承載50kg重物。樣品臺(tái)為電動(dòng)平移結(jié)構(gòu)，X/Y軸行程300mm×300mm（科研版）或500mm×500mm（工業(yè)版），承重范圍10kg-30kg，支持晶圓、復(fù)合材料板材、顯示面板等多樣化樣品。

光學(xué)系統(tǒng)采用雙側(cè)遠(yuǎn)心鏡頭設(shè)計(jì)，場(chǎng)失真率低于0.1%，確保大視場(chǎng)范圍內(nèi)測(cè)量數(shù)據(jù)的一致性。針對(duì)不同材質(zhì)樣品，設(shè)備配備可調(diào)節(jié)環(huán)形光源，支持0°-45°角度調(diào)節(jié)，優(yōu)化金屬、陶瓷、聚合物等材料的成像對(duì)比度。此外，機(jī)身側(cè)面預(yù)留拉曼光譜儀、紅外成像模塊接口，可擴(kuò)展多技術(shù)聯(lián)用功能。

性能優(yōu)勢(shì)：效率與精度的平衡之道

在共聚焦模式下，S wide的橫向分辨率達(dá)0.3μm，縱向分辨率5nm，即使在大視場(chǎng)掃描中，數(shù)據(jù)一致性偏差仍小于4%。以300mm×300mm晶圓測(cè)量為例，傳統(tǒng)設(shè)備需分9次掃描并手動(dòng)拼接，耗時(shí)1.5小時(shí)；S wide通過(guò)“快速拼接算法"僅需1小時(shí)即可完成精細(xì)掃描（分辨率500nm），兼顧效率與精度。

白光干涉模式則專注于納米級(jí)形貌測(cè)量，其0.1nm的縱向分辨率可精準(zhǔn)捕捉液晶顯示屏的面型誤差（全局平面度誤差<5μm）或金屬構(gòu)件的焊接接頭高度差。設(shè)備支持“分區(qū)測(cè)量"功能，操作人員可將樣品劃分為重點(diǎn)檢測(cè)區(qū)域（如汽車門把手安裝區(qū)）與常規(guī)區(qū)域，分別采用高倍率物鏡與大視場(chǎng)物鏡進(jìn)行差異化測(cè)量。

用材與工藝：耐用性貫穿全生命周期

S wide的關(guān)鍵部件均選用工業(yè)級(jí)耐用材料：光學(xué)鏡頭采用鈦合金鏡筒，重量輕且剛性強(qiáng)，長(zhǎng)期使用后不易形變；樣品臺(tái)導(dǎo)軌驅(qū)動(dòng)電機(jī)選用伺服電機(jī)，配合高精度光柵尺（分辨率0.01μm），移動(dòng)定位精度達(dá)±0.05μm；內(nèi)部散熱系統(tǒng)采用分區(qū)散熱設(shè)計(jì)，連續(xù)工作2小時(shí)后機(jī)身溫度波動(dòng)小于5℃，保障光學(xué)元件穩(wěn)定性。

參數(shù)對(duì)比與型號(hào)選擇

科研版?zhèn)戎赜诙喙δ苄耘c數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)，配套軟件支持粗糙度分布、缺陷密度等參數(shù)的自動(dòng)計(jì)算；工業(yè)版則強(qiáng)化了批量檢測(cè)能力，每小時(shí)可完成5-8塊光伏玻璃的全面檢測(cè)，數(shù)據(jù)重復(fù)性偏差小于4%。

典型應(yīng)用場(chǎng)景與操作指南

在半導(dǎo)體制造中，S wide用于分析晶圓表面的顆粒污染與薄膜厚度均勻性；在顯示面板行業(yè)，其大視場(chǎng)特性可快速檢測(cè)液晶屏的涂層質(zhì)量與像素排列精度。操作流程如下：

1. 樣品預(yù)處理：清潔樣品表面，去除油污與灰塵；

2. 模式選擇：粗糙樣品選共聚焦模式，光滑樣品選白光干涉模式；

3. 區(qū)域定位：通過(guò)低倍物鏡框選測(cè)量區(qū)域，軟件自動(dòng)規(guī)劃掃描路徑；

4. 數(shù)據(jù)導(dǎo)出：生成包含3D形貌圖、截面曲線與粗糙度參數(shù)的檢測(cè)報(bào)告。