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PRODUCTS CNTER布魯克輪廓儀實驗室與車間的“橋梁型設備"在追求高效生產的今天,表面形貌測量需兼顧研發(fā)階段的深度分析與量產環(huán)節(jié)的快速質檢。布魯克ContourX-200三維光學輪廓儀以“平衡性能與靈活性"為設計理念,通過模塊化硬件、智能化軟件與穩(wěn)定結構,為不同場景提供了一款可定制化的表面計量解決方案。
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布魯克輪廓儀實驗室與車間的“橋梁型設備"
在追求高效生產的今天,表面形貌測量需兼顧研發(fā)階段的深度分析與量產環(huán)節(jié)的快速質檢。布魯克ContourX-200三維光學輪廓儀以“平衡性能與靈活性"為設計理念,通過模塊化硬件、智能化軟件與穩(wěn)定結構,為不同場景提供了一款可定制化的表面計量解決方案。
ContourX-200聚焦于“大多數(shù)實驗室的日常需求",在測量范圍、系統(tǒng)性能與占地面積間實現(xiàn)平衡。其200mm×200mm的XY平面行程與200mm的Z向行程,可覆蓋半導體晶圓、MEMS器件與小型精密零件的測量需求,同時保持緊湊的臺式設計,節(jié)省實驗室空間。設備采用高剛性鋁材與精密導軌,搭配主動防震臺,確保在普通車間環(huán)境下也能實現(xiàn)≤0.1%的測量重復性。
光學頭:支持2.5X至115X物鏡手動或電動切換,可選配長工作距離(LWD)物鏡以適配高樣品。
載物臺:150mm×150mm電動XY平臺,提供100mm垂直行程與±6°傾斜功能,支持曲面樣品測量。
光源系統(tǒng):雙色LED(白光/綠光)提供穩(wěn)定照明,適應不同反射率表面。
成像模塊:500萬像素黑白或彩色攝像頭,支持1200×1000分辨率成像,采樣速率37μm/s。
參數(shù)項 | 規(guī)格 |
---|---|
垂直分辨率 | ≤0.01nm(RMS重復性0.01nm) |
水平分辨率 | 0.13μm(AcuityXR模式) |
最大掃描量程 | 10mm(Z向) |
視場范圍 | 0.1-20mm2(依物鏡調整) |
載物臺負載 | 5kg(最大) |
環(huán)境適應性 | 溫度10-40℃,濕度≤70%RH |
數(shù)據(jù)接口 | USB 3.0、TCP/IP、SDK開發(fā)包 |
VisionXpress™:簡化版界面提供自動對焦、強度調節(jié)與一鍵式報告生成功能,適合生產線快速質檢。
Vision64®:支持ISO 25178、ASME B46.1等標準分析,提供200余種粗糙度參數(shù)與3D紋理分析工具,并可定制分析模板。
自動化擴展:通過腳本編輯器與MES系統(tǒng)集成,實現(xiàn)批量測量、數(shù)據(jù)追溯與異常報警。
半導體行業(yè):測量晶圓表面粗糙度與薄膜厚度,監(jiān)控化學機械拋光(CMP)工藝穩(wěn)定性。
汽車制造:檢測發(fā)動機零件表面缺陷,量化磨損量以優(yōu)化維護周期。
消費電子:分析手機玻璃蓋板的光潔度,確保觸控靈敏度與顯示效果。
能源領域:評估燃料電池雙極板表面粗糙度,提升氣體擴散效率與耐久性。
某精密模具廠引入ContourX-200后,通過以下步驟實現(xiàn)測量效率提升:
定制模板:在Vision64®中預設模具型腔的粗糙度分析模板,包含Sa、Sz等關鍵參數(shù)。
批量測量:將多個模具固定于載物臺,通過腳本編輯器設置自動測量路徑。
數(shù)據(jù)追溯:測量結果自動上傳至MES系統(tǒng),生成包含時間戳與操作員信息的報告。
異常預警:當粗糙度超出閾值時,系統(tǒng)觸發(fā)報警并暫停生產線,防止缺陷品流出。
ContourX-200三維光學輪廓儀憑借其模塊化設計、智能化軟件與穩(wěn)定結構,成為連接實驗室與車間的“橋梁型設備"。無論是高校的前沿研究,還是工業(yè)的量產需求,它都能以靈活的配置與可靠的性能,助力用戶實現(xiàn)表面計量的高效化與標準化。
布魯克輪廓儀實驗室與車間的“橋梁型設備"
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